在電子工業中，生產過程用水的制備系統電子工業超純水設備的產水水質不穩定直接影響生產的進程，因此，應該時刻掌握哪些因素會影響到設備出水水質，才能夠及時的排除故障，解決問題。
不同進水流量時超純水處理設備出水的電導率隨操作電流變化很小，這是因為在電路上，淡室中的溶液相與樹脂相是并聯關系，由于所填充的離子交換樹脂的導電能力遠高于電滲析產水，因此樹脂相電阻成為淡室電阻大小的決定因素。離子傳輸主要通過樹脂相進行，而在一定的淡水流量范圍內流量對樹脂相電阻影響很小，故膜堆總電流不發生明顯變化，產水電導率變化也很小，因此進水流量對水解離程度的影響很小。
超純水處理設備出水水質與操作電壓密切相關。操作電壓過小則不足以在純水排出之前將離子從淡室移出，電滲析過程和樹脂電再生過程都比較微弱，此時主要進行的是離子交換過程。隨著操作電壓的增大則水解離程度增大、樹脂的再生效果好，使得淡水的電導率下降，當操作電壓增加到一定程度時離子交換過程與樹脂的再生過程達到了平衡，產水電導率進一步下降并趨于穩定。但操作電壓過大將引起過量的水電離和離子反擴散而降低產水水質。
在運行一段時間的電子超純水系統需要根據實際情況進行清洗，在清洗之前也需要調整好清洗壓力，在清洗過程中注意檢查，避免造成設備傷害。超純水處理設備裝置是一種電子化的設備，不同于現有的電子或電場水改儀、電滲析裝置和電解裝置，它利用不純凈水的導電特性，將電能輸送到水體內部，改變溶液和溶質狀況，產生電子改水、電氣浮、電離凈化等多重作用。同時，該裝置利用外加特殊電能強行改變溶質溶劑的結合形式，配合電極釋放的高活性離子，對污水實施強烈的電化學凈水作用。
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