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我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準

作者:北京中天恒遠 發(fā)布于:2014-10-10 08:45:09瀏覽量: 次

水處理設(shè)備

我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準

化學(xué)指標單位：μg/L

序號

水質(zhì)項目

一級高純水指標

二級高純水指標

1

電阻率（25℃）MΩ·cm

≥15

≥10

2

電導(dǎo)率，μs/cm

0.05

0.1

3

PH值

6.8～7.2

6.6～7.4

4

細菌總數(shù)，個/mL

＜3

＜9

5

微粒（直徑＞0.5μm，粒/mL）

＜150

＜300

6

二氧化硅

＜10

＜20

7

有機物（以COD計）

＜0.3

＜0.5

8

鈉 Na

＜0.5

＜2

9

鐵 Fe

＜1

＜2

10

銅 Cu

＜0.5

＜1

11

鈣 Ca

＜1

＜3

12

鎂 Mg

＜0.2

＜1

13

鋅 Zn

＜0.5

＜1

14

錳 Mn

＜0.2

＜0.5
說明：①一級高純水適用于大規(guī)模集成電路，微波器件以及有相同要求到半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
　　　②二級高純水適用于一般電路，分立器件以及有相同要求的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
　　　③本表按1980年電子工業(yè)部標準摘錄。

　　本條信息版權(quán)歸北京中天恒遠水處理設(shè)備公司所有,轉(zhuǎn)載請注明http://www.huanqiuhang.com出處。

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